VT321半導(dǎo)體參數(shù)分析儀，支持SMU、LCR、PGU、PMU等PXIe標(biāo)準(zhǔn)模塊，滿足復(fù)雜測試需求。配備15.6英寸高清屏，預(yù)裝Windows 10及VTNext軟件，提供I-V、C-V、脈沖I-V測試功能，內(nèi)置MOSFET、BJT、二極管、電阻及電容等豐富的器件類型庫，為現(xiàn)代半導(dǎo)體、材料和工藝表征提供高級測試定義、參數(shù)分析、圖表繪制和自動化功能。

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更新時間：2026-03-27
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VT321半導(dǎo)體參數(shù)分析儀介紹：

VT321半導(dǎo)體參數(shù)測試儀，支持SMU、LCR、PGU、PMU等PXIe標(biāo)準(zhǔn)模塊，滿足復(fù)雜測試需求。配備15.6英寸高清屏，預(yù)裝Windows 10及VTNext軟件，提供I-V、C-V、脈沖I-V測試功能，內(nèi)置MOSFET、BJT、二極管、電阻及電容等豐富的器件類型庫，為現(xiàn)代半導(dǎo)體、材料和工藝表征提供高級測試定義、參數(shù)分析、圖表繪制和自動化功能。

是國產(chǎn)設(shè)備全面對標(biāo)國際旗艦的標(biāo)志性產(chǎn)品。其核心 IV 性能實(shí)現(xiàn)了 ±200V 寬電壓范圍覆蓋，電流靈敏度達(dá)到 0.1fA 的行業(yè)頂尖水準(zhǔn)，直流電流范圍 ±1A、脈沖電流可達(dá) ±3A，采樣率高達(dá)1.8MS/s；CV測試覆蓋 20Hz-10MHz 超寬頻率范圍，PGU 脈沖單元最小脈寬可達(dá) 25ns，可編程分辨率低至 2.5ns。從核心指標(biāo)來看，VT321已實(shí)現(xiàn)對泰克 4200A-SCS、是德 B1500A 的全面對標(biāo)，補(bǔ)齊了國產(chǎn)設(shè)備在高精度、全功能集成上的核心短板，目前已獲得多家高校實(shí)驗(yàn)室與功率器件企業(yè)的批量采購。

IV技術(shù)指標(biāo)

電壓范圍：±200V

電壓靈敏度：100nV

電流范圍：±1A(直流)，±3A(脈沖）

電流靈敏度：0.1fA

采樣率：1.8MS/s

CV技術(shù)指標(biāo)

測試頻率：20Hz-10MHz

AC 信號源：電壓：10mVrms-2Vrms (f≤1MHz)、1Vrms (f>1MHz)；電流：50 pArms-100mArms

DC偏置：電壓：±40V；電流：±100mA

PGU技術(shù)指標(biāo)

頻率范圍：0.1Hz-20MHz

脈沖周期：可編程范圍50ns-10s；分辨率：10ns

脈沖寬度：可編程范圍 25ns-(脈沖周期－25ns）；分辨率：2.5ns（Tr and Tf≤8 μs）、10ns（TrandTf>8 us)。

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