概倫電子 FS800 半導(dǎo)體參數(shù)分析儀介紹：

FS800 器件參數(shù)分析儀是概倫電子的新一代半導(dǎo)體器件電學(xué)特性分析設(shè)備，具有功能全面配置靈活等特點(diǎn)，在一臺(tái)設(shè)備中實(shí)現(xiàn)了電流電壓（IV）測(cè)試、電容電壓（CV）測(cè)試、快速波形發(fā)生與測(cè)試、低頻噪聲測(cè)試以及高速時(shí)域信號(hào)采集，可廣泛應(yīng)用于新材料和新器件研究、電性參數(shù)測(cè)試、器件模型數(shù)據(jù)測(cè)試、可靠性測(cè)試等領(lǐng)域。 

該設(shè)備擁有直觀的 18.5 英寸觸摸屏界面，采用自主研發(fā)的測(cè)試硬件架構(gòu)和數(shù)據(jù)總線，高效可擴(kuò)展的半導(dǎo)體表征系統(tǒng)主機(jī)可配備高達(dá) 24 個(gè)自研高精度 SMU、或 132 通道的低漏電矩陣開關(guān)。同時(shí)可基于需要選配快速波形發(fā)生與測(cè)試套件和高精度 LCR 模塊，通過單臺(tái)設(shè)備提供各類晶圓級(jí)電性參數(shù)自動(dòng)化測(cè)試解決方案。儀器內(nèi)置的 LabExpress 測(cè)試軟件配備豐富的內(nèi)置測(cè)試算法庫(kù)，可高效協(xié)同控制概倫測(cè)試設(shè)備、第三方儀表、半自動(dòng)和全自動(dòng)探針臺(tái)等設(shè)備。

 FS800 全面而靈活的測(cè)試分析能力可極大地加速半導(dǎo)體器件與工藝的研發(fā)評(píng)估進(jìn)程，滿足各類半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室和產(chǎn)線測(cè)試需要。

應(yīng)用領(lǐng)域：

• CMOS 參數(shù)測(cè)試

- MOSFET 與 BJT 晶體管參數(shù)測(cè)試

- 二極管與 PN 結(jié)參數(shù)測(cè)試

- MEMS 與傳感器參數(shù)測(cè)試

• 新材料新器件參數(shù)測(cè)試

- 薄膜晶體管、顯示器件參數(shù)測(cè)試

- 二維材料、光電探測(cè)器參數(shù)測(cè)試

- 非易失性存儲(chǔ)器與材料參數(shù)測(cè)試

- 神經(jīng)形態(tài)器件、憶阻器等參數(shù)測(cè)試

- 柔性電子器件、可穿戴電子器件參數(shù)測(cè)試

• 半導(dǎo)體器件特性分析

• 半導(dǎo)體器件建模

• 半導(dǎo)體器件可靠性測(cè)試

• 產(chǎn)線測(cè)試

• 高效率可擴(kuò)展的硬件平臺(tái)

- 自主研發(fā)的測(cè)試硬件架構(gòu)和數(shù)據(jù)總線

- 可支持高達(dá) 24 個(gè) SMU，或 132 通道的矩陣開關(guān)

- 可同時(shí)支持 SMU 和矩陣開關(guān)模塊，在單臺(tái)臺(tái)式設(shè)備內(nèi)實(shí)現(xiàn)晶圓

 級(jí)電性參數(shù)的自動(dòng)化測(cè)試

- 支持多通道并行測(cè)試和多點(diǎn)位并行測(cè)試

- 可擴(kuò)展 GPIB 接口

- 可擴(kuò)展 PXI 機(jī)箱

• FS810 高精度 SMU

- 0.1fA 高分辨率

- 最高電流測(cè)試精度可達(dá) 15fA

- 最大電壓 200V，最大電流 1A，最大直流功率 20W

- 1.5MS/s 采樣率的時(shí)域信號(hào)采集

• FS821 低漏電矩陣開關(guān)輸出模塊

- 12 個(gè)三同軸輸出接口

- 200V 負(fù)載電壓，1A 負(fù)載電流

- 100fA 偏移電流

- 30MHz 帶寬

• FK401B 快速波形發(fā)生與測(cè)試套件

- 2 個(gè)快速 IV 通道，最大電壓 10V，最大電流 10mA

- 100MS/s 采樣率的高速時(shí)域信號(hào)采集

- 快速脈沖 IV 測(cè)試，最小脈沖寬度 130ns

- 支持 SMU 直通

- 可擴(kuò)充至最多 5 個(gè)模塊（10 通道）

• FS338/FS339 高精度 LCR 模塊

- 40V 直流偏壓范圍

- FS338 帶寬：20Hz~2MHz

- FS339 帶寬：20Hz~10MHz